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Nanolithographie
Die Nanolithographie ist der Zweig der Nanotechnologie, der sich mit der Untersuchung und Anwendung der Herstellung von Strukturen im Nanometerbereich befasst, d. h. Mustern mit mindestens einer lateralen Dimension zwischen 1 und 100 nm.
Nanolithographie ist die Kunst und Wissenschaft des Ätzens, Schreibens oder Druckens auf mikroskopischer Ebene, wobei die Abmessungen der Zeichen in der Größenordnung von Nanometern (Einheiten von 10 -9 Metern oder Millionstel Millimetern) liegen.
Verwandte Zeitschriften zur Nanolithographie
Nano Research, Scripta Materialia, Nanoscale, Lab on a Chip – Miniaturisierung für Chemie und Biologie